真空回火炉是使用真空体系，在炉腔的特定空间内，由真空泵、真空丈量设备、真空阀等部件组成的真空炉，将炉腔内的一些物质排出，使炉腔内的压力小于一个标准大气压，使炉腔内的空间处于真空状况。
　　真空回火炉的优点
　　1.彻底消除工件外表在加热过程中的氧化和脱碳，取得无变质层的洁净外表。这关于那些磨削时只磨削一侧的刀具(如麻花钻，磨削后槽面的脱碳层直接暴露在切削刃上)切削性能的提高有很大的联系。
　　2.对环境无污染，无需三废处理。
　　3.炉温丈量和监控的准确性明显提高。热电偶和炉温指示值达到1.5°c，但炉内大量工件不同部位的温差较大，如果选用淡薄气体强制循环，仍可控制在5°c的温差范围内。
　　4.机电一体化程度高。在提高温度测控精度的基础上，工件移动、气压调节、功率调节可预编程设定，淬火回火可分步进行。
　　5.能耗明显低于盐浴炉。现代真空炉加热室选用优质隔热资料制成的隔热墙和隔热屏，能将电加热能量集中在加热室内，节能效果显著。
　　真空回火炉一般由主机、炉膛、电加热设备、密封炉壳、真空体系、供电体系、温控体系和炉外运输车辆组成。密封的炉壳用碳钢或不锈钢焊接，可拆卸部件的结合面用真空密封资料密封。为了避免炉壳变形和密封资料受热变质，炉壳一般选用水冷或风冷冷却。炉膛坐落密封的炉壳内。
　　根据炉子的用处，炉子内部有不同类型的加热元件，如电阻器、感应线圈、电极和电子枪。金属冶炼真空炉的炉膛内装有坩埚，有些还装有自动浇注设备和装卸资料的机械手等。真空体系主要由真空泵、真空阀和真空计组成。